真空泵技術(shù)日新月異的發(fā)展，原有的真空設(shè)備及真空工藝系統(tǒng)已經(jīng)達(dá)不到新的節(jié)能、高效與環(huán)保排放的要求，特別是工藝溶劑的回收要求。

　　與水環(huán)式真空泵比較

　　1. 極限真空為3300Pa，無油真空泵真空度更高，達(dá)到1Pa，很多水環(huán)羅茨機(jī)組可以只用一臺螺桿真空泵代替。

　　2. 水作為密封材料，有一定的消耗量。我國北方大部分地區(qū)自來水中鈣、鎂離子(通常以碳酸氫鈣/鎂和碳酸鈣/鎂的形勢存在，一般稱為暫時硬度和永久硬度)含量比較高，真空泵容易結(jié)水垢。 干式螺桿真空泵形成真空不需要用水。

　　3. 連續(xù)工作溫升較高，當(dāng)真空泵溫度升高時真空度會相應(yīng)下降，為了解決溫升的問題，系統(tǒng)中需要加裝冷凍機(jī)組給循環(huán)水降溫，這首先帶來設(shè)備成本的增加和功耗的增加，干式螺桿真空泵真空度穩(wěn)定不受外界條件影響。

　　與油式機(jī)械泵(旋片泵、滑閥泵)比較

　　1.旋片及滑閥泵極限真空高，一般能達(dá)到在0.1Pa,如果工藝極限真空要求較高，可以用干式螺桿真空泵串聯(lián)一級羅茨泵達(dá)到此真空。

　　2.油式機(jī)械泵不能抽含有水汽大及有腐蝕性的介質(zhì)，否則油容易乳化變質(zhì)影響真空及壽命。

　　3.油式機(jī)械泵不能抽含粉塵介質(zhì)，否則會造成泵磨損。由于機(jī)械泵屬于有摩擦運行，及時抽吸干凈氣體介質(zhì)，在運行多年后，各方面配合間隙加大，極限真空會有下降。

　　4.油式泵的噪音，油煙的排放，真空油的消耗越來不符合環(huán)保節(jié)能要求。